С быстрым развитием глобальных технологий искусственного интеллекта во всём мире стремительно растёт спрос на полупроводниковые микросхемы. Кремниевые пластины, являясь носителем полупроводниковых устройств, играют ключевую роль в производстве чипов, и качество их обработки имеет решающее значение для предприятий полупроводниковой отрасли.
Кремниевые пластины, как правило, изготавливаются путём нарезки цилиндрических заготовок из высокочистого монокристаллического кремния на тонкие диски. Наиболее распространёнными являются пластины диаметром 8 и 12 дюймов. Увеличение диаметра пластины позволяет за один производственный цикл получить большее количество микросхем, тем самым повышая эффективность обработки и снижая себестоимость продукции.
Путь от кремниевого сырья до готовой полупроводниковой микросхемы включает более сотни технологических этапов. Используемые в настоящее время на производстве станки для плоского шлифования круглых пластин предназначены главным образом для обработки заготовок, полученных после резки кремниевых слитков. Обычно это пластины диаметром 8 или 12 дюймов. В процессе шлифования поверхность пластины становится более гладкой, что обеспечивает подготовку к следующему технологическому этапу обработки кремниевых пластин.
В последнее время один из заводов в Мексике рассматривает возможность строительства полупроводникового завода по производству 12-дюймовых кремниевых пластин. В рамках данного проекта предприятию требуется числовое программное управление полностью автоматическим плоскошлифовальным станком, способным обрабатывать заготовки от кремниевых слитков до готовых пластин, обеспечивая после шлифования требуемый уровень шероховатости поверхности в соответствии с требованиями заказчика.
После детального анализа технологических потребностей клиента нами был рекомендован разработанный компанией специализированный горизонтально-шпиндельный плоскошлифовальный станок с круглым столом, предназначенный для полупроводниковой отрасли. Данный станок подходит для высокоточной обработки кольцевых деталей, подшипников, клапанных пластин, пильных дисков, а также изделий из керамики, кристаллов, стекла, кварца, карбида кремния и других прецизионных материалов.
 |
| 12-дюймовая кремниевая пластина заказчика |
Горизонтально-шпиндельный плоскошлифовальный станок с круглым столом с ЧПУ MGGK7363 (Shanghai Antishi)
Основные технические характеристики:
| Параметр | Ед. изм. | Значение |
| Диаметр рабочего стола | мм | 630 |
| Диаметр электромагнитной плиты | мм | 630 |
| Максимальные размеры обрабатываемой детали (диаметр × высота) | мм | 630 × 200 |
| Максимальная масса обрабатываемой детали | кг | ≤ 500 |
| Допустимый угол наклона рабочего стола | ° | ±3 |
| Частота вращения рабочего стола (бесступенчатая регулировка) | об/мин | 0,5–150 |
| Скорость возвратно-поступательного перемещения стола | м/мин | 0,1–2 |
| Максимальный ход стола в горизонтальном направлении | мм | 340 |
| Размеры шлифовального круга (наружный диаметр × внутренний диаметр × ширина) | мм | 400 × 40 × 127 |
| Частота вращения шпинделя шлифовальной головки (частотное регулирование) | об/мин | 3000 |
| Максимальный вертикальный ход шлифовальной головки | мм | 250 |
| Скорость быстрого подъёма/опускания шлифовальной головки | мм/мин | 300 |
| Расстояние от оси шпинделя до поверхности стола | мм | 130–380 |
| Вертикальная автоматическая подача шлифовальной головки | мм | 0,001–0,02 |
| Коэффициенты электронной ручной подачи | — | ×1 / ×10 / ×100 |
| Мощность электродвигателя шлифовальной головки | кВт | 7,5 |
| Мощность электродвигателя быстрого подъёма шлифовальной головки | кВт | 1,3 |
| Мощность электродвигателя вращения рабочего стола | кВт | 3,7 |
| Мощность электродвигателя возвратно-поступательного перемещения стола | кВт | 1,3 |
| Мощность электродвигателя насоса охлаждающей жидкости | кВт | 0,125 |
| Мощность электродвигателя электронной системы смазки | кВт | 0,4 |
| Общая установленная мощность станка | кВт | ≈ 14 |
| Габаритные размеры станка (длина × ширина × высота) | мм | 2350 × 1250 × 1950 |
| Масса станка (приблизительно) | кг | 3500 / 3900 |
Если вы представляете предприятие полупроводниковой отрасли и испытываете потребность в плоскошлифовальном станке с круглым столом, будем рады вашему обращению в компанию ООО «Шанхайское Механическое Оборудование Антиши» (SHANGHAI ANTISHICNC MACHINE EQUIPMENT CO LTD).
Наша команда профессиональных инженеров готова предоставить всестороннюю техническую поддержку и индивидуальные решения в соответствии с вашими производственными задачами.
Электронная почта компании: contact@antsmachine.com
Ключевые слова:
плоскошлифовальный станок, плоскошлифовальный станок с круглым столом, плоскошлифовальный станок с ЧПУ с круглым столом, программируемый плоскошлифовальный станок с круглым столом, плоскошлифовальный станок с круглым столом на базе PLC, специализированный плоскошлифовальный станок с круглым столом для оптики, плоскошлифовальный станок с круглым столом для полупроводниковой промышленности, оптический плоскошлифовальный станок, плоскошлифовальный станок для полупроводников, вертикально-шпиндельный плоскошлифовальный станок с круглым столом, горизонтально-шпиндельный плоскошлифовальный станок с круглым столом, плоскошлифовальный станок для кремниевых пластин